Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие; Лаборатория знаний, 2018

Издатель: Лаборатория знаний
ISBN: 978-5-9963-0032-7
Книги: Электротехника. Электроника
ID:1794515

Где купить

Рейтинг:

(0/5)

Отзывы (0) Оставить отзыв

Описание Характеристики Цены Отзывы (0)

Где купить

Последняя известная цена от 499 р. до 823 р. в 5 магазинах

В данный момент у нас нет информации о наличии данного товара в магазинах.
Вы можете поискать его на других площадках:

Магазин	Цена	Наличие
Яндекс.Маркет 5/5 ООО "ЯНДЕКС" ИНН: 7736207543	✔ Промокоды на скидку

История цены
Магазин	Последняя известная цена	Обновлено
Лабиринт	823 р.	13.04.2023
book24	686 р.	08.02.2024
OZON	499 р.	24.06.2024

Описание

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микродлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумио-гехнических требований к проведению этих процессов, приведены меходы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять харакгер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии н оборудования

.Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлекгроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Смотри также о книге.

О книге

Параметр	Значение
Переплет	Твердый переплёт
Издатель	Лаборатория знаний
Год издания	2018
Возрастные ограничения	12
Кол-во страниц	283
Серия	Нанотехнологии
Автор(ы)	Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович
Раздел	Основы производства
ISBN	978-5-9963-0032-7
Количество страниц	283
Формат	60х90/16
Вес	0.40кг
Страниц	283
Переплёт	твердый
Размеры	21,50 см × 14,50 см × 1,30 см
Тематика	Энергетика
Тираж	770