- Метрология, стандартизация и сертификация
- Горная промышленность. Металлургия
- Энергетика
- Машиностроение. Приборостроение
- Автоматика. Вычислительная техника
- Транспорт
- Легкая промышленность
- Пищевая промышленность
- Полиграфия
- Строительство. Коммунальное хозяйство
- Электротехника. Электроника
- Робототехника и контроллеры
- Ремонт бытовых приборов
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие; Лаборатория знаний, 2018
- Издатель: Лаборатория знаний
- ISBN: 978-5-9963-0032-7
- Книги: Электротехника. Электроника
- ID:1794515
Где купить
Последняя известная цена от 499 р. до 823 р. в 5 магазинах
Вы можете поискать его на других площадках:
| Магазин | Цена | Наличие |
|---|---|---|
| Магазин | Последняя известная цена | Обновлено |
|---|---|---|
| Лабиринт | 823 р. | 13.04.2023 |
| Буквоед | 686 р. | 08.02.2024 |
| book24 | 686 р. | 08.02.2024 |
| Читай-город | 686 р. | 07.02.2024 |
| OZON | 499 р. | 24.06.2024 |
Описание
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микродлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумио-гехнических требований к проведению этих процессов, приведены меходы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять харакгер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии н оборудования
.Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлекгроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
.
Смотри также о книге.
О книге
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Переплет | Твердый переплёт |
| Издатель | Лаборатория знаний |
| Год издания | 2018 |
| Возрастные ограничения | 12 |
| Кол-во страниц | 283 |
| Серия | Нанотехнологии |
| Автор(ы) | Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович |
| Раздел | Основы производства |
| ISBN | 978-5-9963-0032-7 |
| Количество страниц | 283 |
| Формат | 60х90/16 |
| Вес | 0.40кг |
| Страниц | 283 |
| Переплёт | твердый |
| Размеры | 21,50 см × 14,50 см × 1,30 см |
| Тематика | Энергетика |
| Тираж | 770 |
Отзывы (0)
Добавить отзыв
Книги: Радиоэлектроника. Связь - издательство "Лаборатория знаний"
Категория 399 р. - 598 р.
Книги: Радиоэлектроника. Связь
Категория 399 р. - 598 р.