Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники; МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2013

118 р.

Где купить

Где купить (1)

Цена от 118 р. до 118 р. в 1 магазинах

МагазинЦенаНаличие
118 р.
Электронная книга Кэшбэк до 6.5%

18.07.2025
Яндекс.Маркет
5/5
Промокоды на скидку
Avito доставка позволит получить любой товар, не выходя из дома

Описание

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».

Смотри также о книге.

О книге


ПараметрЗначение
Автор(ы)
ИздательМГТУ им. Н.Э. Баумана
Год издания2013
ISBN978-5-7038-3729-0
Форматы электронной версииPDF


Отзывы (0)


Зарегистрируйтесь и получайте бонусы за покупки!


Книги: Технические науки - издательство "МГТУ им. Н.Э. Баумана"

Категория 94 р. - 141 р.

Книги: Технические науки

Категория 94 р. - 141 р.

закладки (0) сравнение (0)

10 ms