- Метрология, стандартизация и сертификация
- Горная промышленность. Металлургия
- Энергетика
- Машиностроение. Приборостроение
- Автоматика. Вычислительная техника
- Транспорт
- Легкая промышленность
- Пищевая промышленность
- Полиграфия
- Строительство. Коммунальное хозяйство
- Электротехника. Электроника
- Робототехника и контроллеры
- Ремонт бытовых приборов
О книге: Химические технолог.в пр-ве микроэлектромех.систем; Лань, 2022
О книге
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Переплет | Твердый переплёт |
| Издатель | Лань |
| Год издания | 2022 |
| Возрастные ограничения | 12 |
| Кол-во страниц | 220 |
| Серия | Радиоэлектроника и приборостроение |
| Автор(ы) | Родионов Юрий Анатольевич |
| ISBN | 978-5-507-46956-7,978-5-8114-5788-5,978-5-8114-9566-5 |
| Раздел | Радиоэлектроника |
| Количество страниц | 220 |
| Формат | 171x241мм |
| Вес | 0.41кг |
Где купить
Последняя известная цена от 858 р. до 8356 р. в 6 магазинах
Вы можете поискать его на других площадках:
| Магазин | Цена | Наличие |
|---|---|---|
| Магазин | Последняя известная цена | Обновлено |
|---|---|---|
| Лабиринт | 2830 р. | 21.11.2024 |
| ЛитРес | 858 р. | 31.12.2021 |
| book24 | 1939 р. | 27.09.2025 |
| Яндекс.Маркет | 8356 р. | 27.06.2024 |
| Читай-город | 1939 р. | 27.09.2025 |
| Буквоед | 1939 р. | 27.09.2025 |
Описание
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.
Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры "Электроника и наноэлектроника", "Конструирование и технология электронных средств".
2-е издание, стереотипное.
![]()
Смотри также о книге.
Отзывы (0)
Добавить отзыв
Книги: Радиоэлектроника. Связь - издательство "Лань"
Категория 686 р. - 1029 р.
Книги: Радиоэлектроника. Связь
Категория 686 р. - 1029 р.