- Радиоэлектроника. Связь
- Метрология, стандартизация и сертификация
- Горная промышленность. Металлургия
- Энергетика
- Машиностроение. Приборостроение
- Автоматика. Вычислительная техника
- Транспорт
- Легкая промышленность
- Пищевая промышленность
- Полиграфия
- Строительство. Коммунальное хозяйство
- Робототехника и контроллеры
- Ремонт бытовых приборов
Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов 2-е изд. испр.; Техносфера, 2011
от 749 р. до 1777 р.
- Издатель: Техносфера
- ISBN: 978-5-94836-289-2
EAN: 9785948362892
- Книги: Автоматика, радиоэлектроника, связь
- ID:1969424
Где купить (7)
Цена от 749 р. до 1777 р. в 7 магазинах
Магазин | Цена | Наличие |
---|---|---|
Описание
В книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам и технологии их формирования, различные конструкции сток-истоковых областей МОПТ и технологические процессы создания мелкозалегающих легированных слоев. Рассмотрены проблемы влияния масштабирования размеров элементов в субмикронную область и особенностей технологических процессов на надежность и долговечность субмикронных МОП-транзисторов. Представлены данные о влиянии технологических процессов изготовления субмикронных СБИС (процессов плазменной обработки, ионного легирования и технологических операций переноса изображения) на деградацию подзатворного диэлектрика, а значит - на уровень выхода, надежность и долговечность годных готовых изделий.Книга предназначена для специалистов в области проектирования и разработки технологии изготовления КМОП СБИС, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей технических вузов.
Смотри также о книге.
О книге
Параметр | Значение |
---|---|
Автор(ы) | Красников Геннадий Яковлевич |
Издатель | Техносфера |
Год издания | 2011 |
Кол-во страниц | 800 |
Серия | Мир электроники |
Переплет | Твердая глянцевая |
Возрастные ограничения | 12 |
Раздел | Радиоэлектроника |
ISBN | 978-5-94836-289-2 |
Количество страниц | 800 |
Формат | 176x247мм |
Вес | 1.20кг |
Размеры | 17,60 см × 24,70 см × 3,60 см |
Тематика | Автоматика. Телемеханика |
Обложка | твердый переплёт |
Отзывы (0)
Добавить отзыв
Книги: Электротехника. Электроника - издательство "Техносфера"
Категория 599 р. - 898 р.
Книги: Электротехника. Электроника
Категория 599 р. - 898 р.