МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники; Техносфера, 2020
от 599 р. до 1499 р.
- Издатель: Техносфера
- ISBN: 978-5-94836-521-3
- Книги: Техническая литература
- ID:5922698
Где купить (8)
Цена от 599 р. до 1499 р. в 8 магазинах
Магазин | Цена | Наличие |
---|---|---|
Описание
В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) – одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологического оборудования для реализации МОСГЭ и методов контроля роста эпитаксиальных слоев in situ , затронуты вопросы моделирования процессов. Практические аспекты реализации метода подробно рассмотрены на примере формирования эпитаксиальных структур полупроводников AIIIBV, AIIBVI и твердых растворов на их основе – основных материалов современной оптоэлектроники и ИК-техники. Значительное внимание уделено формированию наноразмерных эпитаксиальных структур и гетероструктур на основе нитридов элементов III группы, технология которых получила стремительное развитие в последние годы. Рассмотрены вопросы адаптации метода МОСГЭ к получению ряда новых материалов электронной техники. Книга предназначена специалистам в области технологии полупроводниковых материалов, может быть полезна аспирантам и студентам соответствующих специальностей.
Смотри также о книге.
О книге
Параметр | Значение |
---|---|
Автор(ы) | Мармалюк Александр Анатольевич, Акчурин Рауф Хамзинович |
Издатель | Техносфера |
Год издания | 2020 |
Серия | Мир материалов и технологий |
Жанр | физика; химия |
Издательство | Техносфера |
Автор | Акчурин Рауф Хамзинович |
Возрастное ограничение | 16+ |
Вес | 0.769 |
Количество книг | 1 |
Формат | 17.0 x 25.0 x 2 |
Оформление обложки | интегральный переплет |
Количество страниц | 488 |
Тип обложки | твердая |
ISBN | 978-5-94836-521-3 |
Обложка | твердый переплёт |
Кол-во страниц | 488 |
Размеры | 70x100/16 |
Язык издания | Русский |
Отзывы (0)
Добавить отзыв
Книги: Химические науки - издательство "Техносфера"
Категория 479 р. - 718 р.
Книги: Химические науки
Категория 479 р. - 718 р.