- Радиоэлектроника. Связь
- Метрология, стандартизация и сертификация
- Горная промышленность. Металлургия
- Энергетика
- Машиностроение. Приборостроение
- Автоматика. Вычислительная техника
- Транспорт
- Легкая промышленность
- Пищевая промышленность
- Полиграфия
- Строительство. Коммунальное хозяйство
- Робототехника и контроллеры
- Ремонт бытовых приборов
Процессы и оборудование микротехнологии Модули 1 и 2; МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет), 2018
144 р.
- Издатель: Издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана
- ISBN: 978-5-7038-4864-7
EAN: 9785703848647
- Книги: Электроника
- ID:7709894
Где купить (1)
Цена от 144 р. до 144 р. в 1 магазинах
| Магазин | Цена | Наличие |
|---|---|---|
| Магазин | Последняя известная цена | Обновлено |
|---|---|---|
| book24 | 1011 р. | 19.05.2025 |
| Лабиринт | 830 р. | 21.11.2024 |
| Яндекс.Маркет | 1203 р. | 17.06.2024 |
| МАЙШОП | 504 р. | 23.06.2024 |
| OZON | 894 р. | 24.06.2024 |
Описание
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии - изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.
Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".
Смотри также о книге.
О книге
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Автор(ы) | Ю. Б. Цветков |
| Издатель | МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) |
| Год издания | 2018 |
| Возрастные ограничения | 12 |
| Кол-во страниц | 124 |
| Страниц | 122 |
| ISBN | 978-5-7038-4864-7 |
| Размеры | 16,50 см × 23,50 см × 0,70 см |
| Формат | 165x235мм |
| Тематика | Автоматика. Телемеханика |
| Тираж | 100 |
| Обложка | мягкая обложка |
| Раздел | Радиоэлектроника |
| Количество страниц | 122 |
| Вес | 0.21кг |
| Форматы электронной версии |
Отзывы (0)
Добавить отзыв
Книги: Электротехника. Электроника - издательство "Издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана"
Категория 115 р. - 172 р.
Книги: Электротехника. Электроника
Категория 115 р. - 172 р.