Ионная и фотонная обработка материалов; Вышэйшая школа, 2022
от 224 р. до 9876 р.
- Издатель: Вышэйшая школа
- ISBN: 978-985-06-3395-8
- Книги: Физические науки. Астрономия
- ID:9675468
Где купить (3)
Цена от 224 р. до 9876 р. в 3 магазинах
Магазин | Цена | Наличие |
---|---|---|
Описание
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники.
Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
Смотри также о книге.
О книге
Параметр | Значение |
---|---|
Издатель | Вышэйшая школа |
Автор(ы) | Комаров Фадей Фадеевич, Константинов Станислав Валерьевич |
Год издания | 2022 |
ISBN | 978-985-06-3395-8 |
Отзывы (0)
Добавить отзыв
Книги: Физические науки. Астрономия - издательство "Вышэйшая школа"
Книги: Физические науки. Астрономия
Категория 179 р. - 268 р.