Ионная и фотонная обработка материалов; Вышэйшая школа, 2022
- Издатель: Вышэйшая школа
- ISBN: 978-985-06-3395-8
- Книги: Физические науки. Астрономия
- ID:9675468
Где купить
Последняя известная цена от 224 р. до 9876 р. в 4 магазинах
Вы можете поискать его на других площадках:
Магазин | Цена | Наличие |
---|---|---|
Магазин | Последняя известная цена | Обновлено |
---|---|---|
Лабиринт | 6710 р. | 12.01.2024 |
Яндекс.Маркет | 9876 р. | 11.01.2024 |
ЛитРес | 224 р. | 15.08.2024 |
book24 | 2159 р. | 05.03.2025 |
Описание
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники.
Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
Смотри также о книге.
О книге
Параметр | Значение |
---|---|
Издатель | Вышэйшая школа |
Автор(ы) | Константинов Станислав Валерьевич, Комаров Фадей Фадеевич |
Год издания | 2022 |
ISBN | 978-985-06-3395-8 |
Кол-во страниц | 246 |
Раздел | Физические науки |
Количество страниц | 246 |
Переплет | Твёрдый переплёт |
Формат | 146x205мм |
Вес | 0.38кг |
Отзывы (0)
Добавить отзыв
Книги: Физические науки. Астрономия - издательство "Вышэйшая школа"
Категория 179 р. - 268 р.
Книги: Физические науки. Астрономия
Категория 179 р. - 268 р.