О книге: Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование; ИД Интеллект, 2016

Издатель: Интеллект групп
ISBN: 978-5-91559-215-4
Книги: Радиоэлектроника. Связь
ID:1764662

Рейтинг:

(0/5)

О книге

Параметр	Значение
Автор(ы)	Киреев Валерий Юрьевич
Издатель	ИД Интеллект
Год издания	2016
Кол-во страниц	320
Переплет	Твердая глянцевая
Возрастные ограничения	12
Страниц	320
Переплёт	твердый
ISBN	978-5-91559-215-4
Размеры	14,50 см × 21,60 см × 2,00 см
Формат	145x216мм
Тематика	Автоматика. Телемеханика
Раздел	Радиоэлектроника
Количество страниц	320
Вес	0.52кг

Где купить

Последняя известная цена от 1584 р. до 3006 р. в 4 магазинах

В данный момент у нас нет информации о наличии данного товара в магазинах.
Вы можете поискать его на других площадках:

Магазин	Цена	Наличие
Яндекс.Маркет 5/5 ООО "ЯНДЕКС" ИНН: 7736207543	✔ Промокоды на скидку

Avito 5/5 ООО КЕХ еКоммерц ИНН: 7710668349	Avito доставка позволит получить любой товар, не выходя из дома

История цены
Магазин	Последняя известная цена	Обновлено
Лабиринт	2549 р.
book24	1584 р.	06.10.2022
OZON	3006 р.	24.06.2024

Описание

В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления.

Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов.

Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников.

Смотри также о книге.