- Метрология, стандартизация и сертификация
- Горная промышленность. Металлургия
- Энергетика
- Машиностроение. Приборостроение
- Автоматика. Вычислительная техника
- Транспорт
- Легкая промышленность
- Пищевая промышленность
- Полиграфия
- Строительство. Коммунальное хозяйство
- Электротехника. Электроника
- Робототехника и контроллеры
- Ремонт бытовых приборов
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование; ИД Интеллект, 2016
- Издатель: Интеллект групп
- ISBN: 978-5-91559-215-4
- Книги: Радиоэлектроника. Связь
- ID:1764662
Где купить
Последняя известная цена от 1584 р. до 3006 р. в 4 магазинах
Вы можете поискать его на других площадках:
| Магазин | Цена | Наличие |
|---|---|---|
| Магазин | Последняя известная цена | Обновлено |
|---|---|---|
| Лабиринт | 2549 р. | |
| book24 | 1584 р. | 06.10.2022 |
| Буквоед | 1599 р. | 08.10.2022 |
| OZON | 3006 р. | 24.06.2024 |
Описание
В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления.
Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов.
Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников.
Смотри также о книге.
О книге
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Автор(ы) | Киреев Валерий Юрьевич |
| Издатель | ИД Интеллект |
| Год издания | 2016 |
| Кол-во страниц | 320 |
| Переплет | Твердая глянцевая |
| Возрастные ограничения | 12 |
| Страниц | 320 |
| Переплёт | твердый |
| ISBN | 978-5-91559-215-4 |
| Размеры | 14,50 см × 21,60 см × 2,00 см |
| Формат | 145x216мм |
| Тематика | Автоматика. Телемеханика |
| Раздел | Радиоэлектроника |
| Количество страниц | 320 |
| Вес | 0.52кг |
Отзывы (0)
Добавить отзыв
Похожие товары
Книги: Радиоэлектроника. Связь
Категория 1267 р. - 1900 р.