Труды ФТИАН. Том 27. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология; Наука, 2018

Издатель: Наука
ISBN: 978-5-02-040089-4
EAN: 9785020400894
Книги: Электротехника. Электроника
ID:2439830

Где купить

Рейтинг:

(0/5)

Отзывы (0) Оставить отзыв

Описание Характеристики Цены Отзывы (0)

Где купить

Последняя известная цена от 369 р. до 886 р. в 3 магазинах

В данный момент у нас нет информации о наличии данного товара в магазинах.
Вы можете поискать его на других площадках:

Магазин	Цена	Наличие

История цены
Магазин	Последняя известная цена	Обновлено
Лабиринт	406 р.	08.04.2024
Яндекс.Маркет	886 р.	21.03.2024
МАЙШОП	369 р.	20.03.2024

Описание

Монографический сборник представляет теоретические и экспериментальные результаты, полученные сотрудниками Института в области физики, моделирования и технологий передовых нанотранзисторных структур для логических интефальных схем (УБИС). наноструктур для твердотельных генераторов терагерцового диапазона частот. Представлены исследования ключевых технологических процессов изготовления таких приборов с критическими размерами 11-32 нм: электронно-лучевой литографии, плазменного нано-структурирования, атомно-слоевого осаждения диэлектриков и металлов. Приводятся результаты в области микроструктурирования пористых low-k диэлектриков для систем многоуровневой металлизации. Большинство исследований проведено в рамках Программы ФНИ ФАНО России.

Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.

Смотри также о книге.

О книге

Параметр	Значение
Издатель	Наука
Год издания	2018
ISBN	978-5-02-040089-4
Размеры	70x100/16
Обложка	мягкая обложка
Язык издания	rus
Кол-во страниц	138