Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие; Инфра-Инженерия, 2019

Отличная книга от реальных специалистов по полупроводниковой технологии. Редчайшая информация. Очень актуальна в узких (пока) кругах специалистов по разработке и производству микро- и наносистем и ИМС (СБИС). Представлена информация не только о технологиях на базе кремния (Si, SiO2, Si3N4), но о сохраняющих актуальность технологиях на базе алмазоподобных углеродных плёнок – технологиях создания наноэлементов и наносистем на основе углерода (С), который в твёрдой фазе может иметь формы как металлического проводника (графит), так и диэлектрического изолятора (алмаз), а также огромное количество промежуточных форм с различными электрофизическими, оптическими, механическими, химическистойкими свойствами в виде алмазоподобных плёнок. Это открывает ещё не освоенные возможности изготавливать наноэлектронику из одного углерода – чередуя его различные формы – проводящие и изолирующие. Про графен – однослойный (двух-пятислойный, в реальном случае) надо писать отдельные книги.
В общем книга однозначно полезная и следует её купить и освоить.

Наконец приоткрываются процессы, которые позволяют создавать невероятно малые устройства. Все, кто задействован в промышленном производстве ( и не только) эта книга способна принести немало пользы. Общаясь с более умными технологиями (а значит и людьми) мы сами становимся умнее.
Кроме всего этого, затронута сфера, в которой Россия отстает от ведущих стран, а значит эти знания актуальны, необходимы, а возможны и будут реально востребованы нами самими в ближайшем будущем.